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產(chǎn)品中心
光罩盒存儲設備
Reticle Cabinet是帶充氣功能的光罩盒儲存設備，用于批量存儲集成電路生產(chǎn)用的光罩盒，順利獲得充入純凈氣體，保證光罩品質(zhì)。
U钱包APP SERVERReticle Cabinet在國內(nèi)首次實現(xiàn)了在極小流量情況下極短時間內(nèi)使光罩盒濕度下降到RH10%以下。
U钱包APP SERVERReticle Cabinet在國內(nèi)首次實現(xiàn)了在極小流量情況下極短時間內(nèi)使光罩盒濕度下降到RH10%以下。
功能亮點：
親和人機界面
穩(wěn)定系統(tǒng)集成
抽屜式設計大容量存儲
高速持續(xù)凈化
兼容多種EAP通信
軟件描述
光罩盒存儲柜軟件系統(tǒng)
Reticle Cabinet Software
實時反饋當前貨位的貨物信息、充氣時間、充氣階段，并進行流量監(jiān)控與報警。
功能亮點:
? 支持觸屏控制。
? 支持客戶參數(shù)動態(tài)配置。
? 支持與EAP 和MF FabScope 系統(tǒng)對接。
功能亮點:
? 支持觸屏控制。
? 支持客戶參數(shù)動態(tài)配置。
? 支持與EAP 和MF FabScope 系統(tǒng)對接。
重要參數(shù)
| 技術(shù)指標 | 參數(shù) |
尺寸（長*寬*高） | 2217mm*1058mm*1913mm |
| 重量（滿載 空載） | 630kg&460kg |
Self （位置數(shù)量） | 84個 |
存儲POD類型 | SMIF POD RSP3 RSP1 |
RFID讀取率 | ≥99.999% |
電源 | 220V，50Hz，2A |
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