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近機臺緩存設備
NTB(Near Tool Buffer)用于晶圓廠對接天車與機臺上下料口的緩存設備,減少機臺等待時間,提高機臺的利用率。
U钱包APP SERVERNTB 設計符合SEMI E15.1,可與符合E15.1 標準的Load Port完美對接。
可選配置:2/3/4 Port
可選配置:2/3/4 Port
功能亮點:
親和人機界面
穩定系統集成
個性化定制Buffer數量
快速移動功能
具有SEMI S2/F47認證
兼容EAP/MCS通信
軟件描述
智能緩存控制系統
NTB Software
具有智能、高效、穩定、專業等特點的NTB監控軟件,給予對無塵室存儲庫的智能化管理功能,順利獲得HSMS標準協議接收來自客戶上位系統如MCS或EAP下發的搬運指令,實現FOUP的存取動作。順利獲得E84 實現與標準LoadPort 或者Sort 設備對接。
NTB服務端實現接受上位MCS或者下位NTB用戶手動創建的任務,將指令轉發PLC執行,并實時監控 PLC的執行反饋信息,上報PLC 執行信息和異常報警信息,以達到自動進行入庫和出庫控制和設備狀態監控上報。
功能亮點:
? 作為制程設備的擴展口,能與標準設備快速對接,解決部分無法與天車對接的設備遇到的問題。
? 采用智能算法優化存儲庫的指令執行和貨位管理邏輯,縮短晶圓盒的存取搬運時間。
? 提高存儲庫出入庫頻次和利用效率,最終提高晶圓廠的單位產出率,為晶圓廠創造更多的價值。
NTB服務端實現接受上位MCS或者下位NTB用戶手動創建的任務,將指令轉發PLC執行,并實時監控 PLC的執行反饋信息,上報PLC 執行信息和異常報警信息,以達到自動進行入庫和出庫控制和設備狀態監控上報。
功能亮點:
? 作為制程設備的擴展口,能與標準設備快速對接,解決部分無法與天車對接的設備遇到的問題。
? 采用智能算法優化存儲庫的指令執行和貨位管理邏輯,縮短晶圓盒的存取搬運時間。
? 提高存儲庫出入庫頻次和利用效率,最終提高晶圓廠的單位產出率,為晶圓廠創造更多的價值。
重要參數
| 技術指標 | 參數 |
| 尺寸(長*寬*高) | 2 Port:2220(可定制)*750*2780(可定制) |
定位精度 | ±0.5mm |
存儲類型 | Foup |
潔凈等級 | ≤Class100 |
| throughput | <30s |
震動 | <0.5g |
噪音 | <75DB |
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