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空中緩存凈化設備
配合天車軌道系統，為光罩盒給予空中批量存儲貨位，提高晶圓廠得空間利用率，最大化晶圓載具在各個工序間得傳送效率。順利獲得Purge管路布局，加裝凈化單元充入純凈氣體，保證光罩盒內微環境，提高良品率。
可選配置：儲位：1格位、2個格位、3格位、4格位
可選配置：儲位：1格位、2個格位、3格位、4格位
功能亮點：
組合式搭配行架
集成式控制整條Bay
可獨立控制具體Shelf
斷電可持續Purge
有貨吹氣，無貨不吹
ilde Purge
軟件描述
OHBP Software
OHBP Software
OHBP控制系統對整條Bay的Port進行潔凈吹氣，分為始終吹氣和感應吹氣兩種類型，其可配置RFID傳感器、溫濕度傳感器，可記錄Foup放置的次數，以及整個Purge過程的溫濕度變化，當RFID讀取異常、溫濕度未達標，具有實時報警功能；
Web UI界面可手動調節比例閥，實時控制氣流量、可調節溫濕度 流量 壓力監控范圍、亦可手動控制電磁閥的開關等操作。
功能亮點：
? 多盤位實時監控，穩定可靠。
? 搭配MF FabScope 系統，快速定位異常盤位狀態。
? 支持Recipe 管理。
Web UI界面可手動調節比例閥，實時控制氣流量、可調節溫濕度 流量 壓力監控范圍、亦可手動控制電磁閥的開關等操作。
功能亮點：
? 多盤位實時監控，穩定可靠。
? 搭配MF FabScope 系統，快速定位異常盤位狀態。
? 支持Recipe 管理。
重要參數
| 技術指標 | 參數 |
| Flow Spec | 0~50L/Min |
| 濕度 | RH<10%Purge時間根據流量大小 |
進氣壓力 | 精度±1.5%，量程60SLM |
出氣壓力 | 精度±0.5% |
過濾精度 | 0.003um |
RFID讀取成功率 | >99.99% |
位置傳感器 | 2 Pcs |
配套產品
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