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塔式存儲設(shè)備
Tower Stocker用于半導(dǎo)體晶圓廠潔凈室內(nèi)物料的跨樓層存儲和傳送。
U钱包APP SERVER科技研發(fā)的跨樓存儲設(shè)備順利獲得主機升降取放進行跨樓層傳送，升降速度可達3.5 m/s，實現(xiàn)潔凈傳送。
可選配置：人工口/天車口數(shù)量
U钱包APP SERVER科技研發(fā)的跨樓存儲設(shè)備順利獲得主機升降取放進行跨樓層傳送，升降速度可達3.5 m/s，實現(xiàn)潔凈傳送。
可選配置：人工口/天車口數(shù)量
軟件描述
MSSC存儲控制系統(tǒng)
MeetFuture Smart Storage Controller
給予對無塵室存儲庫的智能化管理功能，順利獲得HSMS標準協(xié)議接收來自客戶上位系統(tǒng)如MCS下發(fā)的搬運指令控制自動存取機械手實現(xiàn)光罩盒的存取動作。
應(yīng)用場景 : 存儲設(shè)備的控制與庫存查詢
功能亮點:
? U钱包APP SERVER智能存儲控制系統(tǒng)采用的智能算法優(yōu)化存儲庫的指令執(zhí)行和貨位管理邏輯縮短光罩盒的存取搬運時間提高存儲庫出入庫頻次和利用效率。
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重要參數(shù)
| 技術(shù)指標 | 參數(shù) |
| 尺寸 | 1800mm(W) x 1800mm(L) |
| 傳動方式 | Y/R/A 減速機+皮帶 |
| 重復(fù)點位精度 | ±0.5mm |
噪音 | ≤75db |
| 震動 | ≤0.5G |
| 潔凈等級 | Class:100 |
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