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電子貨架
E-Rack是順利獲得與上層系統之間進行信息研討，提高管控及信息追蹤。配合相關的智能運輸設備，實現產品輸送的閉環管理。
功能亮點：
親和人機界面
穩定系統集成
兼容多種EAP通信
設備可進行迅速部署
軟件描述
E-Rack Software
E-Rack Software
支持多種類型的標簽讀取。讀取成功比率高，穩定性好。
功能亮點：
? 支持多種通訊方便與上位系統對接。
? 支持搬送歷史查詢。
功能亮點：
? 支持多種通訊方便與上位系統對接。
? 支持搬送歷史查詢。
重要參數
| 技術指標 | 參數 | |
| 產品型號 | Foup | HA200 |
| 容納格位 | 16 | 16 |
RFID讀取率 | ＞99.99% | ＞99.99% |
平整度 | ±1° | ±1° |
| 潔凈等級 | Class：100 | Class：100 |
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Reticle Cabinet（RC）
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機臺前端凈化設備
Front Purge System（FPS）
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人工上下料凈化機臺
Loadport Purge Station(LPS)
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