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潔凈室傳送線
主要用于實現POD中短距離的傳遞輸送，實現機臺設備、STK、TW STK等設備之間FOUP的輸送傳遞。按照工藝流程將不同設備有機串聯起來的同時，能夠緩存一定數量的POD。
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