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產(chǎn)品中心

AMHS傳輸設(shè)備

天車潔凈室傳送線協(xié)作式機(jī)器人

AMHS存儲凈化設(shè)備

晶圓盒存儲設(shè)備光罩盒存儲設(shè)備塔式存儲設(shè)備近機(jī)臺緩存設(shè)備機(jī)臺凈化設(shè)備空中緩存凈化設(shè)備光罩盒存儲設(shè)備機(jī)臺前端凈化設(shè)備人工上下料凈化機(jī)臺電子貨架

AMHS 軟件系統(tǒng)

MCS物料控制系統(tǒng) AMS監(jiān)控仿真系統(tǒng)

AMHS傳感控制設(shè)備

RFID 讀碼器 SmartTag 讀碼器 E84光通信

光罩盒存儲設(shè)備

Reticle Stocker用于半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)光罩盒存儲及傳送，可實(shí)現(xiàn)與天車自動對接，人工對接，保證光罩品質(zhì)，從而達(dá)到提高晶圓廠整體產(chǎn)品良率的目的。MF Reticle Stocker 可適配帶提拔和非提拔兩種樣式。

可選配置：人工口/天車口數(shù)量/Purge 功能/Auto Teaching/RFID/無線供電

功能亮點(diǎn)：

親和人機(jī)界面

穩(wěn)定系統(tǒng)集成

符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的間距設(shè)計(jì)

具備凈化系統(tǒng)以及凈化統(tǒng)計(jì)功能

可與多家MCS對接

Port口數(shù)量可靈活配置

集成凈化功能

軟件描述

MSSC存儲控制系統(tǒng)

MeetFuture Smart Storage Controller

給予對STK的智能化管理功能，遵循SEMI E88協(xié)議，接收客戶上位系統(tǒng)如MCS的命令指派來實(shí)現(xiàn)對晶圓盒的入庫和出庫操作。配合3D相機(jī)，可快速實(shí)現(xiàn)AutoTeach 功能,方便工廠安裝實(shí)施。支持RFID、SmartTag 等標(biāo)簽的讀取。搭配U钱包APP SERVER自研的RFID、SmartTag、E84模塊，讓設(shè)備讀取成功率達(dá)到同行領(lǐng)先標(biāo)準(zhǔn)。

應(yīng)用場景：存儲設(shè)備的控制與庫存查詢

功能亮點(diǎn)：
? U钱包APP SERVER智能存儲控制系統(tǒng)采用了智能算法優(yōu)化存儲庫的指令執(zhí)行和貨位管理邏輯縮短晶圓盒的存取搬運(yùn)時間提高存儲庫出入庫頻次和利用效率。
? 支持與多種主流的MCS對接，方便系統(tǒng)開始實(shí)施。
? 支持多路氣體流量、壓力、濕度的實(shí)時監(jiān)控。

重要參數(shù)

技術(shù)指標(biāo)	參數(shù)
尺寸（長寬高）	8300(可定制)14305350 mm(可定制)
重量（滿載/空載）	7.2t
定位精度	±0.5mm
存儲類型	Reticle
潔凈等級	≤Class100
吞吐量	≥180Lot/H
震動	<0.5g
噪音	＜75DB