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光罩盒存儲設(shè)備
Reticle Stocker用于半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)光罩盒存儲及傳送,可實(shí)現(xiàn)與天車自動對接,人工對接,保證光罩品質(zhì),從而達(dá)到提高晶圓廠整體產(chǎn)品良率的目的。MF Reticle Stocker 可適配帶提拔和非提拔兩種樣式。
可選配置:人工口/天車口數(shù)量/Purge 功能/Auto Teaching/RFID/無線供電
可選配置:人工口/天車口數(shù)量/Purge 功能/Auto Teaching/RFID/無線供電
功能亮點(diǎn):
親和人機(jī)界面
穩(wěn)定系統(tǒng)集成
符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的間距設(shè)計(jì)
具備凈化系統(tǒng)以及凈化統(tǒng)計(jì)功能
可與多家MCS對接
Port口數(shù)量可靈活配置
集成凈化功能
軟件描述
MSSC存儲控制系統(tǒng)
MeetFuture Smart Storage Controller
給予對STK的智能化管理功能,遵循SEMI E88協(xié)議,接收客戶上位系統(tǒng)如MCS的命令指派來實(shí)現(xiàn)對晶圓盒的入庫和出庫操作。配合3D相機(jī),可快速實(shí)現(xiàn)AutoTeach 功能,方便工廠安裝實(shí)施。支持RFID、SmartTag 等標(biāo)簽的讀取。搭配U钱包APP SERVER自研的RFID、SmartTag、E84模塊,讓設(shè)備讀取成功率達(dá)到同行領(lǐng)先標(biāo)準(zhǔn)。
應(yīng)用場景:存儲設(shè)備的控制與庫存查詢
功能亮點(diǎn):
? U钱包APP SERVER智能存儲控制系統(tǒng)采用了智能算法優(yōu)化存儲庫的指令執(zhí)行和貨位管理邏輯縮短晶圓盒的存取搬運(yùn)時間提高存儲庫出入庫頻次和利用效率。
? 支持與多種主流的MCS對接,方便系統(tǒng)開始實(shí)施。
? 支持多路氣體流量、壓力、濕度的實(shí)時監(jiān)控。
應(yīng)用場景:存儲設(shè)備的控制與庫存查詢
功能亮點(diǎn):
? U钱包APP SERVER智能存儲控制系統(tǒng)采用了智能算法優(yōu)化存儲庫的指令執(zhí)行和貨位管理邏輯縮短晶圓盒的存取搬運(yùn)時間提高存儲庫出入庫頻次和利用效率。
? 支持與多種主流的MCS對接,方便系統(tǒng)開始實(shí)施。
? 支持多路氣體流量、壓力、濕度的實(shí)時監(jiān)控。
重要參數(shù)
| 技術(shù)指標(biāo) | 參數(shù) |
| 尺寸(長*寬*高) | 8300(可定制)*1430*5350 mm(可定制) |
| 重量(滿載/空載) | 7.2t |
定位精度 | ±0.5mm |
| 存儲類型 | Reticle |
| 潔凈等級 | ≤Class100 |
吞吐量 | ≥180Lot/H |
| 震動 | <0.5g |
噪音 | <75DB |
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